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氧化切割
與熔化切割不同，激光氧化切割使用活潑的氧氣作為輔助氣體。由于氧與已經熾熱了的金屬材料發生化學反應，釋放出大量的熱，結果是材料進一步被加熱。
材料表面在激光束照射下很快被加熱到燃點溫度，與氧氣發生激烈的燃燒反應，放出大量熱量，在此熱量作用下，材料內部形成充滿蒸汽的小孔，而小孔周圍被熔化的加工材料所包圍。
燃燒物質轉移成熔渣，控制氧和加工材料的燃燒速度，氧氣流速越高，燃燒化學反應和去除熔渣的速度也越快。但是 ，如果氧氣速度過快，將導致割縫出口處的反應產物即金屬氧化物的快速冷卻，對切割質量造成不利影響。
切割過程存在兩個熱源：激光束照射能和化學反應所產生的熱能。據估計，切割碳鋼時，氧化反應所產生的熱能占切割所需能量的60%。
在氧化切割過程中，如果氧化燃燒的速度高于激光束移動的速度，割縫將變寬且粗糙，反之，如果移動速度慢，則割縫窄而光滑。
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氣化切割
激光束焦點處功率密度非常高，可達106W/cm2以上，激光光能轉換成熱能，保持在極小的范圍內，材料很快被加熱至氣化溫度，部分材料氣化為蒸汽逸去，部分材料被輔助氣體吹走，隨著激光束與材料之間的連續不斷的相對運動，便形成寬度很窄（如0.2mm）的割縫。這種切割方法的功率密度在108W/cm2左右。一些不能熔化的材料如木材、碳素材料和某些塑料即通過這種方法進行切割。
激光氧化切割在加工精密模型和尖角時是不好的（有燒掉尖角的危險）。可以使用脈沖模式的激光來限制熱影響。
所用的激光功率決定切割速度。在激光功率一定的情況下，限制因數就是氧氣的供應和材料的熱傳導率。
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