在深冷、超深冷處理過程中，馬氏在-190度低溫下，由于體積收縮Fe的晶格常數趨于縮小，而低溫下固溶度變小使馬氏體的過飽和度有所增加，亦使空位的平蘅濃度降低。深冷、超深冷處理促進碳原子更彌散偏聚，形成超微細碳化物核心使馬氏體分解，馬氏界面增多而碎化。 　　在深冷、超深冷處理的溫度回升階段碳原子的擴散能力大大增加，而隨溫度回升空位平衡濃度也升高，從而更加快碳原子的擴散運動。自回火產生的微細碳化物促進碳化物的聚合長大，深冷、超深冷處理形成的超微細碳化物在回溫過程和室溫保持中逐步聚合長大。 　　故深冷、超深冷處理后馬氏碳化物微粒的數量增多且尺寸較大。低溫閥門深冷處理的作用：低溫處理可轉變殘奧，低溫閥門零件的硬度和耐磨性，工件的尺寸。深冷處理可析出超細碳化物，工件的耐磨性；可細化晶粒，工件的沖擊韌性。