把有機廢氣加熱升溫至800℃，使廢氣中的VOC氧化分解，成為無害的CO2和H2O；氧化時的高溫氣體的熱量被蓄熱體“貯存”起來，用于預熱新進入的有機廢氣，從而節省升溫所需要的燃料消耗，降低運行成本。有機廢氣經高壓引風機進入蓄熱室的保留了上一循環熱量的陶瓷介質層后，陶瓷釋放熱量，溫度降低，而有機廢氣吸收熱量，溫度升高。廢氣離開蓄熱室后，以較高的溫度進入燃燒室，準備進行氧化。 在燃燒室中，有機廢氣再由燃燒器加熱燃燒，加熱升溫至設定的氧化溫度，此時溫度為設定的800℃，使有機物被分解成二氧化碳和水。由于廢氣已在蓄熱室內進行過預熱，燃燒器的燃料用量大為減少。廢氣流經蓄熱室升溫后進入氧化室焚燒，成為凈化后的高溫氣體后離開氧化室，進入在上一循環已冷卻的蓄熱室。在此氣體釋放熱量，降溫后排出，而蓄熱室吸收大量熱量后升溫，其吸收的熱量用于下一個循環加熱廢氣。在此同時，廢氣引風機經由反吹風管，從蓄熱室抽出少許前一循環殘留在其中的微量有機氣體，回送至廢氣風機進口處，再送入燃燒室中進行焚燒，此部分氣體同處理后氣體一起離開蓄熱室，經熱回收設備排入大氣。 是目前成熟、穩定、有效的有機廢氣處理設備，采用提高前輩的熱交換技術和新型蜂窩陶瓷蓄熱材料，提高前輩的換熱系統保證了氧化分解熱量的有效回收，熱回收率95%以上，VOC凈化率99%以上，在有機廢氣凈化領域具有很大的技術上風。

與熱力燃燒法相比，其所需的燃料少，能量消耗低，設備設施的體積小。在化學反應過程中，利用催化劑降低燃燒溫度，加速有毒有害氣體完全氧化的方法，叫做催化燃燒法。由于催化劑的載體是由多孔材料制作的，具有較大的比表面積和合適的孔徑，當加熱到300——450℃的有機氣體通過催化層時，氧和有機氣體被吸附在多孔材料表層的催化劑上，增加了氧和有機氣體接觸碰撞的機會，提高了活性，使有機氣體與氧產生劇烈的化學反應而生成CO2和H2O，同時產生熱量，從而使得有機氣體變成無害氣體。催化劑是一種能改變化學反應速度，而在反應前后其本身的化學性質沒有改變的物質。催化劑通常是由催化活性材料和催化載體構成。催化活性材料一般是金屬或金屬氧化物。其中貴重金屬催化劑主要有鉑、鈀和釕等，普通金屬催化劑主要有銅、鉻、鎳、釩、錳、鐵、鈷等金屬及氧化物。催化載體是多孔材料，主要作用是使活性材料具有大的體表面積。